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    曝光机专用冷水机

    曝光机专用冷水机

    产品型号:5P 1P 3HP 2P 6匹 (更多型号询价,请您来电咨询我们)

    应用行业:半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的冷却系统

    机组类型:箱型风冷式冷水机、箱型水冷式冷水机、开放式冷水机

    简要介绍:【曝光机专用冷水机】是我司专为紫外线曝光机配套设计的一款高性能瀚信德品牌优质工业冷水机组,大多客户因厂房条件限制一般采用风冷散热形式最多,由于机型小所需散热风量比较小可直接放在车间使用,当然如果客户不希望【曝光机专用冷水机】的散热风影响车间环境温度,也可以接足够大尺寸的风管将曝光机冷水机散热风以最近的距离排到室外也可。

    销售经理:13689526478 邮箱:www@hansind.com 电话:0755-29861112 传真:0755-29861126

    【曝光机专用冷水机】是我司专为紫外线曝光机配套设计的一款高性能瀚信德品牌优质工业冷水机组,大多客户因厂房条件限制一般采用风冷散热形式最多,由于机型小所需散热风量比较小可直接放在车间使用,当然如果客户不希望【曝光机专用冷水机】的散热风影响车间环境温度,也可以接足够大尺寸的风管将曝光机冷水机散热风以最近的距离排到室外也可。

    偶尔有的客户会指定需要水冷式结构或风冷分体结构(这两种需要客户厂房外有地方放冷却水塔或室外机组才可),机型一般也不大,使用1P、2HP、3匹、5P【曝光机专用冷水机】居多。
     

    按冷却方式分类

    紫外线曝光机内部冷却系统一般用直冷式和间冷式两种
    直冷式一般因要配置棉芯过滤器需要配置高扬程高压力的水泵和过水部件均需要使用304不锈钢材质以确保水质和循环水流量能达到要求;
    间冷式因曝光机内部已经配置用板式交换器循环水泵与保温水箱,对曝光机专用冷水机的要求就比较低些。

    能瀚信德品牌优质曝光机专用冷水机在半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的冷却系统中用着广泛应用。


    紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备。
    UV灯构造
    带托盘的晶片工作台
    配CCD镜头的显微镜
    监视器
    掩膜夹具
    UV灯透镜
    UV灯镜片
    UV灯电源系统
    操作控制器
    350W UV灯
    晶片台
    基底尺寸 标准尺寸 最大至4英寸;可选最大至6英寸;
    托盘 标准尺寸 最大至4英寸;可选最大至6英寸;
    活动范围:X:10mm Y: 10mm Z : 10mm Theta: 4 degree
    挤入补偿 Air bearing型
    Z轴滑动 手动
    真空泵 无油真空泵
    掩膜台
    掩膜夹具类型 真空吸附和机械夹取
    均匀光束大小 4.25“ X 4.25“
    支持接近式曝光,各种接触式(真空接触、软接触、硬接触等)曝光
    接触式曝光特征尺寸:
    0.35 um@深紫外DUV:
    0.5um@近紫外NUV;
    0.6um@紫外UV;
    接近式曝光特征尺寸:
    1um @ Gap为20 um;
    2um @ Gap为50 um;

    紫外线曝光机用途
    更广范围(UV,DUV,NUV)的紫外光波长选择,出射光强范围: 8mW/cm2~40mW/cm2
    支持恒定光强或恒定功率模式
    广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。
    常见曝光机举例:MYCRO美国制造的恩科优(N&Q)紫外曝光系统,适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。

     

    一、概述

    • 在工业应用行业中,一般10P以上工业冷水机组大部分采用水冷式散热,10P以下工业冰水机组采用风冷式散热,但也有很多客户会选风冷式冰水机组,因为它安装方便,省工省时。

    二、瀚信德品牌高品质风冷式曝光机专用冷水机组又名

    • 风冷曝光机专用冷水机主机,曝光机专用风冷工业冰水机,曝光冷水机,曝光机专用箱型风冷制冷机组,曝光机专用循环水冰水机,曝光专用冷水箱,曝光机专用水冷却机,曝光机专用冷冻水机等等。

    三、瀚信德品牌高品质风冷式曝光机专用冷水机组的电器自控部分

    • A、包括风冷式冷水机组运行控制部分和故障自动?;た刂撇糠?。
    • B、运行控制部分是通过接触器,对压缩机、风扇、水泵等供应电源。
    • C、故障自动?;た刂撇糠职ㄎ驴仄?、压力?;?、防冻?;?,延时器、继电器、缺水自动?;?,过流?;す乇;さ?。
    • D、互组合达到根椐水温自动启停,?;さ裙δ?。

    四、风冷式工业曝光专用冷水机组的结构组成与特点

    1、风冷式曝光机冷水机组一般为整体机,及蒸发器、压缩机和冷凝器做在一起。
    • A、对于稍大功率的风冷式工业冷水机,则需要考虑其工作时冷凝器散热风扇的散热问题。
    • B、在空调厂房里应用,整体机需要设置排风道将散热风扇吹出的热量引到室外。
    2、风冷式工业曝光专用冷水机也可以做成分体式,将冷凝器直接放到室外去(称室外机),蒸发器和压缩机放在室内(称室内机)。
    •  A、但考虑冷媒在冷凝器和蒸发器间传送过程中的吸热等问题,室内机和室外机间的距离最好控制在6米以内,另外,输送冷媒的铜管需要做保温处理。
    •  B、风扇的供电电缆及 控制电缆可以和铜管一起布线走,这样空调厂房只需开洞穿管即可。
     3、对于应用小流量及小散热量风冷式冷水机的工业应用场合,一般选用整体式直接使用,此时可不用考虑其散热问题。
    •  A、对于大流量和大散热量的风冷式冷水机,可选用分体式。
     4、风冷式冷水机其冷凝器冷却效果受外界环境季节气候的变化略有影响,而水冷式冷水机,采用水塔散热效果较稳定,但其一定需配套水塔散热才可使用,可移动性差。

    五、风冷式曝光专用冷水机的工作原理!详情请点击查看参考风冷式冷水机工作原理

    六、瀚信德高品质曝光专用冷水机配置简介

    1. 箱式风冷曝光专用冷水机组一般采用全新原装正品日本松下三洋制冷压缩机、可选品牌用美国谷轮,丹麦丹佛斯,美优乐,日本大金,涡漩式压缩机,风冷螺杆式机组采用汉钟,复盛,比泽尔,等品牌。
    2. 高效翅片冷凝器,盘管式,壳管式,板式蒸发器采用自主研发的品牌。
    3. 高精度控制系统,多功能?;は低巢捎锰ㄍ灏钇瘴⒌缒钥刂破?。

    七、瀚信德高品质曝光专用冷水机组特点

    1. 噪音低、控温精度高、质量稳定,可靠性高。
    2. 数字显示温度。
    3. 水温及水流量可根据实际需要进行调节。
    4. 操作简单,可24小时连续长期运转。

    八、瀚信德高品质曝光专用冷水机报价

    • 价格:(含税含运费),请咨询我们了解。
    • 自收到货款起5~10个工作日内发货。

    九、瀚信德曝光专用冷水机组 售后服务 

    • 本产品自发货之日,非人为损坏范围内保修一年。终身有偿服务。
    • 瀚信德冷水机厂家接到客户维修电话后,24小时内(节假日除外)给出解决方案。

    十、瀚信德品牌优质风冷式曝光专用冷水机技术参数请点击查看参考【风冷式冷水机参数】。
    十一、瀚信德品牌优质水冷式/开放式/风冷式曝光专用冷水机技术参数请联系我们索取,我们将谒诚为您服务。
     

    以上是深圳瀚信德制冷产品介绍正文与图片【曝光机专用冷水机

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